電子潔凈廠房化學品回收系統及設備
發布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發布時間：2023-07-12
在電子工業潔凈廠房中，以芯片制造、平板顯示器件制造為代表的生產過程需用多種化學品，尤其是芯片生產過程所需的化學品 （包括特種氣體）都要求非常高的純度和特殊的反應機理，晶圓越大，潔凈度要求越高，產品生產所消耗的各種品種化學品總計的成本就高，據有關資料介紹化學品的成本占晶圓總制造的成本達 40%；雖然不同的產品生產工藝具有各自的特點，但是都需設置不同的化學品回收系統，據了解，化學品回收系統有回收利用、收集委托處理和回收處理后排放等方式。化學品回收系統應根據排出;廢液的不同性質確定，不得將可能發生化學反應的兩種或多種化學品合并為一個系統進行回收。在集成電路芯片工廠和液品顯示器面板工廠內的化學品回收系統均連續不間斷地收集和處理從產品生產過程排放的化學品廢液。
化學品廢液回收系統按其物化性質分別收集和處理，如有機廢液回收系統--從生產設備連續排出的異丙醇、剝離液、光刻膠經過管道排放到廢液回收儲罐，等待處理；酸堿回收處理系統從生產設備排放的酸堿廢液、氨水廢液等經過管道排放至回收罐，一般經中和處理達到排放標準后排放；在平板顯示器件的制造過程中使用的鋁（AD、鉻(Cr)的刻蝕液屬于重金屆廢液，一般也是經管道排放至回收儲罐，等待處理等；化學品廢液收集后應嚴格按化學品類別回收利用或委托專門企業處理或回收處理達到排放標淮后排放等。據了解，在集成電路芯片工廠光刻膠、剝離液一般是委托有資質的廠家進行處理后再利用，在芯片工廠內設有回收儲罐及其管路系統，從生產工藝設備排放的廢液通過重力流至收集回收儲罐，定期由泵抽送至液體槽車外送至處理工廠
①化學品回收儲罐一般設在潔凈廠房內的輔助生產區，并宜采用集中布局的方式，但溶劑化學品回收系統應與酸堿化學品回收系統分區域設置。化學品回收用桶罐的儲存容量宜大于或等于7天的廢液量，回收桶槽應設置備用桶槽，桶槽數量不得少手2支；并設有桶槽自動切換裝置，按桶槽的液位計實現自動切換，回收桶槽的液位計應有高位指示、報警和聯鎖功能
②化學品回收系統的設備應設置在防護堤內，防護堤的容積應大于防護堤內較大回收儲罐的單罐容積；防護堤內應設有泄漏皮液收集溝，并應在收集溝內設置廢液收集池；對于不同性質的化學品回收桶槽應布置在不同的防護堤，避免因泄漏排人的兩種或兩種以上的化學品發生化學反應引發事故。化學品回收系統的桶槽等設備的材質選用應與相應的化學品供應系統的要求相同。
③潔凈廠房中化學品回收系統管道的布置應滿足產品生產操作、設備管道安裝及維護檢修的要求，一般化學品回收管道均采用架空敷設，通常按化學品回收系統的流向自上而下通過重力流至回收桶罐，若排放的生產設備與化學品回收系統之間無法實現重力流排放時，應按廠房內設備．管道的實際布置狀況增設中間儲罐，并從中間儲罐采用泵抽送化學品廢液至化學品回收系統的回收儲罐，化學品回收系統管道的設置，管道及附件的材質選用等均與相應的化學品供應系統的要求相同
